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ADKL系列 专为大容量快速抽气设计
专为大容量快速抽气设计的干泵
更多内容 >>
A100L 整合轻型干泵
负载锁与工艺应用 - 整合轻型干泵
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AD3KH 专为苛刻工艺设计的大型
用于光电工艺,ARC层的大型干泵
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A3H系列 低功率消耗工艺泵
中等与苛刻要求的负载锁与工艺应用。
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ADP/ADS 系列 多工艺复合式干
从95 至 1800 立方米/小时 - 负载锁与工艺应用 。ADP/ADS系列2产品的四种型号可满足不同真空要求,环境清洁的工艺应用可选择LM型,轻型或中型应用要求可选择P型,H型可供苛刻要求的工艺环境选择。许多来自半导体工业的主要制造商已经选择这一产品,这一选择使他们大大缩短了计划外停工期,从而节约了运行成本,提高了利润率。
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罗茨真空泵组
基于阿尔卡特产品与经验的真空解决方案
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RSV系列 罗茨真空泵
300 - 8000 立方米/时 - 粗真空泵的组合。 阿迪克森罗茨泵可供一系列真空应用工艺使用。与前级旋片泵,或干泵结合使用,可在低压力下,获得大抽速。
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AMD系列 机械薄膜泵
从1 到 4 立方米/小时 (0.8 - 2.4 立方英尺/分) 低震低噪音
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ACP120系列与ACG600系列
工业干式真空泵已在半导体行业成功应用了近十年,阿尔卡特的多罗茨技术,使其在其他领域的适用成为可能。ACP120型的魅力在于将抽速与极限压值完美结合,适合仍在使用油封泵的研发与工业应用领域。
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ACP系列干泵
ALCATEL干式真空泵已在半导体行业成功应用了近十年,阿尔卡特的多罗茨技术,使其在其他领域的使用得到认可。主要有ACP系列和ACP120系列:
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