该A3H系列特别设计,以减低营运成本。
该系列包含A803H,A1503H,A1803H型干泵。
涵盖范围广泛的抽水速度,从100m3/h 到1700m3/h,A3H系列每300毫米响应一次,以最低的工作成本达到中等真空要求。
与传统的抽真空方案相比,节省了高达50%的电力消耗,其中以最低的冷却水流量,和降低的氮气吹扫为主要的关键特征。所有这一切是减少高达50%的消耗的原因!
特点:
低公用事业费:1700m3/h 泵只要1.5kW
紧凑的设计:只有310mm宽
复合罗茨技术
耐腐蚀
低噪声
低振动
与 Semi S2-0706兼容
主要优点:
降低了总成本
占地面积小,节省空间
高可靠性
符合半导体加工规则
应用:
PECVD(等离子体增强化学气象沉积)
SACVD
LPCVD(低压化学气象沉积)
ALD
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