AD3KH 系列: 专为苛刻工艺设计的大型干泵, AD63KH 和AD73KH
       我们的技术经过现场的实践证明，在半导体行业发展超过15年。基于此技术，Adixen提出了一个新型的高容量干泵系列，它满足了苛刻的太阳能工艺应用的需要，诸如PECVD SiN, 或者半导体工艺应用和需要，诸如TiN， ALD,……
这一系列有两个

主要特征：
高抽速（达到4950 m3/h）
大容量/高流动性
          -        75标准升每分钟持续的H2流动
          -        容量大小多达10m3
低CoO
        -          减少动力消耗
        -          冷却水需求量小        
        -          更简单的布局管理
优点：

基于长期实践证明的多级罗茨泵技术，AD3KH系列为市场提供了一种最低能耗的选择。
兼容NF3气体（采用特别的轴承和铸铁材料）
对于粉末及强腐蚀气体具有最高级保护
与现场监控网络兼容
分离式轮式框架，便于维护
应用：

半导体工艺（ARC，PECVD） 
光电元件工艺
兼容NF3净化