一种型号供所有应用工艺使用

     ATP 系列提供抽速从80到900l/s的真空泵以及低极限压力值。三种型号：
                 标准型
                 适于腐蚀性应用工艺的C型
                 适用于高压强高腐蚀性应用工艺的HPC型

       逆向动态密封
      C型与HPC 型都加入了了逆向动态密封。这一特点提高了气体吹扫在腐蚀工艺中的性能。同时，HPC型可加热至65°C，以防冷凝。

       ACT 控制器：多种远程控制接口    
       ACT 控制器能更好的控制与监控ATP泵。由于其有许多控制接口可供选择，ACT控制器更易整合。

       特点：
                内部流导大
                低转速
                内部间隙大
       优点：
                避免使用旁通管道
                遇到各种突发情况时抵抗力强（空气流入、振荡等）
                固体粉尘敏感度低（沉积、污染）
        应用：
                高真空
                空间模拟
                沉积
                粒子加速器
                通用物理实验
                离子束
                表面分析器
                进出口室抽气
                电子显微镜
                反应粒子离合
                物理气象沉淀
                离子注入