阿迪克森磁悬浮涡轮分子泵
    五大防腐特性
           自动平衡系统
           嵌入式75加热系统
           5轴控制
           惰性气体吹扫
           逆向动力密封（适用于ATH400与ATH1300型）
           高流量应用     
       ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。

      紧凑而现代的设计：
             可调节转速以优化抽气时的参数
             高平均无故障时间
             使用成本低
             低噪音低振动
             无需电池
       应用：
              玻璃镀膜
              微处理系统加工
              离子束矫正
              电子显微镜
              空间模拟腔
              粒子加速器
              半导体工艺(刻蚀, CVD, 离子插入)
              镀膜与薄镀膜工艺
              离子铣
              以及许多研发实验