干泵整合概念的参考
    自1999年A100L发布的日期以来，在半导体工业中，干泵一体化的概念已经成为一个标准。今天，在世界范围内，A100L被安装在300mm数量级的半导体器件上，为关键的行业提供公认的利益。

    特点：
           直接集成到硅片加工设备：消除foreline ＆显著减少设施和连接费用
           使用时100m3/h 的抽水速度：可以取代多达500m3/h 的精细水泵以增加吞吐量
           安静和清洁：专为无尘操作设计
           能源效率：降低晶圆厂能源消耗
           可靠：adixen实地证明的复合罗茨技术世界范围内最大的安装基地
    应用：
           负载锁
           转换腔
           物理气相沉积
           扫描电镜
           预清洗腔
           退火腔